静电卡盘电源

XP POWER ESC系列 静电卡盘电源解决方案

1kV - 15kV静电高压源 对流冷却

高达15kV(±7500V)的浮动输出

•输出电压范围:1kV-15kV

•单输出和双极模型

•输入输出隔离:>500MΩ

•自动极性反转

•自动放电

•短路和开路保护

•内置RF滤波可用

•模拟/ RS232 / DeviceNet(可选)