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🔌 XP-Glassman 电容充电电源方案
高性能高压电源解决方案 | 离子注入应用专用
可靠的高压电源解决方案
为离子注入工艺提供经过验证的高压电源，保障产品良率
关于 XP Power
XP Power电源解决方案供应商，致力于为关键系统提供可靠的电力支持。公司集设计、制造于一体，在亚洲、欧洲和北美拥有专业工程团队，生产设施遍布全球。
XP Power 提供全面的电源产品线，包括 AC-DC 电源、DC-DC 转换器、高压电源和射频电源，为半导体制造、工业分析仪器、医疗设备等关键应用领域提供优质解决方案。
离子注入应用解决方案
离子注入是半导体制造和某些金属表面处理工艺中的关键步骤。制造商希望确保产品良率，避免在这一工艺过程中出现停机线问题，以最大化收入。
高质量、可靠且可重复的高压电源是保持工艺一致性和产品质量的关键。
✨ 核心优势
🛡️ 安全可靠
我们提供精确的电弧检测、自定义电弧管理和控制监控系统，帮助您管理系统中的高压电弧，最大限度减少对负载、设备和晶圆的损害。
📈 高重复性
高压电源的高可靠性和可重复性有助于防止对产量的负面影响，降低停机线的可能性。
⚡ 晶圆保护
内置多种保护功能，有效降低晶圆和设备损坏风险，确保生产工艺的稳定性和一致性。
🔧 灵活控制
支持本地控制、模拟控制和数字控制（RS232/USB/以太网），满足不同应用场景需求。
推荐产品系列 适用于电容充电
以下系列产品专为离子注入和电容充电应用设计，具有卓越的性能和可靠性：
FT Series
- 输出电压：0-60kVDC
- 电压和电流 0-100% 可编程
- 空气绝缘设计
- 本地、模拟、RS232/USB 数字控制
- 可选以太网控制
- 电压和电流监控输出
- UKCA 和 CE 认证（EMC、LVD、ROHS）
EY Series
- 输出电压：0-60kVDC
- 2U 19" rack mount 机架式安装
- 输出电压和电流 regulation
- 低纹波 <0.03% RMS（满载）
- 效率 >85%
- 工作温度：-20°C 至 +40°C
BQ Series
- 输出电压：0-15kVDC 至 0-100kVDC
- 正极、负极和可逆极性型号
- 模拟远程控制、以太网、RS232、USB（可选）
- 输入电压：208VAC 三相（200/380/415/480VAC 可选）
- 高负载和线路 regulation
- 电弧抑制、电弧计数、短路和热保护
技术规格对比
| 参数 | FT Series | EY Series | BQ Series |
|---|---|---|---|
| 输出电压范围 | 0-60kVDC | 0-60kVDC | 0-15kV 至 0-100kVDC |
| 编程功能 | 0-100% 电压/电流 | 电压/电流 regulation | 全范围可编程 |
| 纹波 | 标准 | <0.03% RMS | 低纹波 |
| 控制接口 | 本地/模拟/RS232/USB/以太网 | 模拟/数字 | 模拟/以太网/RS232/USB |
| 保护功能 | 电压/电流监控 | 热保护 | 电弧抑制/计数/短路/热保护 |
| 认证 | UKCA, CE | 标准 | 多认证 |
典型应用领域
🏭 半导体制造
离子注入机、镀膜设备、等离子体处理
🔬 分析仪器
质谱仪、电子显微镜、X射线设备
⚗️ 科研实验
粒子加速器、电容充电、脉冲功率
🏥 医疗设备
医用加速器、CT设备、高压放电
产品图片
FT Series
FT Series - 750W
regulated high voltage AC-DC
输出电压：0-1kV 至 0-60kV DC
特点：19" rack mount, 1U高度
认证：UKCA, CE
EY Series
EY Series - 1.2kW
regulated high voltage AC-DC
输出电压：0-1kV 至 0-60kV DC
特点：2U 19" rack mount case
认证：标准认证
BQ Series
BQ Series - 10kW
regulated high voltage AC-DC
输出电压：0-15kV 至 0-100kV DC
特点：支持正/负/可逆极性
认证：多认证
资料来源：XP Power 官方网站 www.xppower.com
FT Series
750W regulated high voltage AC-DC
输出电压：0-1kV 至 0-60kV DC
