XP POWER电子束光刻电源解决方案
E-Beam Lithography Power Solutions
XP Power 为电子束光刻应用提供高稳定性、高精度的专业高压电源解决方案。 我们的产品具有超低纹波、短路保护和高稳定性等特性，满足半导体制造和科研应用的严苛需求。
E-Beam Lithography Power Solutions
XP Power 为电子束光刻应用提供高稳定性、高精度的专业高压电源解决方案。 我们的产品具有超低纹波、短路保护和高稳定性等特性，满足半导体制造和科研应用的严苛需求。
电子束光刻技术是半导体制造和纳米加工领域的关键工艺。XP Power 提供集成化定制的高压电子束电源， 具有出色的高压稳定性、超低纹波和完善的短路保护功能。这些特性确保了精确可靠的电子束控制， 有效避免因电源不稳定导致的工艺问题，保护设备安全，提升生产效率。
采用先进控制技术，提供卓越的电压稳定性，确保电子束精确控制，有效避免工艺波动导致的良率问题。
清洁、严格 regulation 的输出确保先进光刻和科研设计中的精确束流定位，满足高精度应用需求。
集成完善的短路保护功能，有效保护敏感设备安全，避免因屏蔽问题导致的设备损坏和生产损失。
高度稳定的开关模式高压电源，具有超低纹波特性。由于高开关频率，电源在输出电压中具有低残余纹波、高稳定性、良好的 regulation 动态性能，同时储存能量较少。
专为电子束应用设计的精密高压直流电源，具备高精度输出和出色的稳定性。适用于需要精确电压控制的半导体制造和科研应用。
大功率高压直流电源解决方案，适用于需要更高电压和功率的电子束应用。提供卓越的电压稳定性和可靠性，满足严苛的工业应用需求。
专为电子束溅射应用设计的集成化电源系统，提供完善的短路保护和卓越的稳定性。确保电子束光刻和溅射应用中的安全稳定运行，有效保护设备并提升生产效率。
晶圆光刻、芯片制造
纳米加工、材料研究
MEMS、NANO器件
电子束蒸发、溅射